Wat denken we van dit nieuws? Ik denk positief voor ASML, want concurrent komt niet aan de bak bij EUV omdat ASML de techniek zelf in huis heeft.
5ONDERNEMEN
Amerikaanse chipmachinefabrikant schrapt EUV-banen
Bert van Dijk, FD
Vandaag, 16:19
Update: vandaag, 19:11
EUV-machine
EUV-machine ASML
KLA-Tencor, een van de grootste chipmachinefabrikanten ter wereld, gaat ongeveer 600 banen schrappen (10% van het totale personeelsbestand), vooral als gevolg van een zwakke vraag naar een geavanceerd meetapparaat dat kan worden gebruikt bij de volgende generatie EUV-chipmachines van ASML. Dat maakte het bedrijf afgelopen week bekend bij de presentatie van de kwartaalcijfers.
De chipmachinefabrikant maakt meet- en inspectie-apparatuur die chipfabrikanten nodig hebben om silicium schijven en zogenoemde maskers te inspecteren op microscopische defecten. Het bedrijf ziet nu echter nog nauwelijks vraag naar zijn meetapparatuur voor EUV-machines. EUV staat voor Extreme Ultraviolet, waarmee chipmachines nog krachtiger en energiezuinige chips kunnen maken.
Geen animo
Volgens KLA-Tencor-bestuursvoorzitter Rick Wallace moet zijn bedrijf nauw samenwerken met klanten om er zeker van te zijn dat er bij hen vraag is naar de producten van zijn bedrijf. Dat is volgens hem juist bij EUV belangrijk omdat er veel onzekerheid bestaat over het moment waarop dat type machine grootschalig wordt ingezet en omdat de ontwikkeling van onderdelen voor EUV heel veel geld kost. ASML sloot daarom jaren geleden een groot co-investeringsprogramma met Intel, Samsung en TSMC om EUV-machines te ontwikkelen. KLA-Tencor hoopte op een soortgelijk co-investeringsprogramma voor een nieuw peperduur inspectie apparaat voor de EUV-systemen, maar daarvoor bestaat geen animo. ‘Tot nu toe hebben we geen grote belangstelling gezien van klanten om een bijdrage te leveren’, aldus Wallace.
Volgens hem kan dat twee dingen betekenen. ‘Of de chipfabrikanten denken het apparaat van KLA-Tencor niet nodig te hebben omdat ze iets anders hebben gevonden, óf er is nog geen zicht op grootschalige chipproductie met EUV-machines, aldus Wallace. 'Het duurt zeker nog lang voordat we als sector het antwoord op die vraag weten.'
ASML heeft oplossing ontwikkeld
ASML laat in reactie weten een oplossing te hebben ontwikkeld die kan worden gebruikt met bestaande metrologie-systemen. Het gaat om een verwijderbaar vliesje dat het EUV-masker beschermt tegen stof. Omdat dat vliesje kan worden verwijderd, kunnen bestaande metrologie-systemen gebruikt worden en hoeft de industrie niet te wachten tot er een speciaal en duur EUV-detectieapparaat beschikbaar is. Zo'n verwijderbare vliesje is door ASML gepresenteerd op de speciale SPIE Lithography conferentie in San Jose in februari van dit jaar. 'Tot grote vreugde van de halfgeleiderindustrie die nu niet langer hoeft te vrezen dat er geen inspectieapparaat gereed zal zijn om het masker te inspecteren', aldus een woordvoerder van ASML.
EUV-doorbraak
De aankondiging van KLA-Tencor over EUV staat in schril contrast met de aankondiging van ASML nog geen twee weken geleden over een doorbraak voor zijn EUV-technologie. ASML kondigde aan 15 EUV-systemen te gaan leveren aan een niet nader genoemde Amerikaanse chipmachinefabrikant. Hoogstwaarschijnlijk gaat het om Intel. Dit Amerikaanse chipbedrijf nam in 2012 voor €2,5 mrd een belang van 15% in ASML juist om de EUV-techniek te ontwikkelen.
Hoewel het Veldhovense bedrijf niets zei over de timing van de leveringen, de voorwaarden en de prijs steeg het aandeel op de dag van de aankondiging met meer dan 10%. EUV moet een belangrijke toekomstige groeipijler worden onder het concern.
Lichtbron
ASML is al ongeveer 15 jaar bezig met EUV en de technologie slokt inmiddels de helft van het r&d-budget op. Toch worden de machines nog steeds niet grootschalig ingezet in de chipproductie. Door technische uitdagingen met de lichtbron duurt het langer dan gedacht om de hypermoderne machines betrouwbaar en krachtig genoeg te krijgen.