VELDHOVEN (AFN) - Chipmachinefabrikant ASML gaat de samenwerking met het Japanse Tokyo Electron versnellen. Dat maakte het bedrijf woensdag bekend, zonder financiële details te geven.

Het gaat om gezamenlijke activiteiten op het vlak van de ontwikkeling van EUV (Extreme Ultraviolet) en zogenoemde ArF Immersion.